中文名称:全氟丁基磺酸三苯基锍盐

英文名称:Triphenylsulfoniumperfluoro-1-butanesufonate(TPS-PFBS,TPS-Nf)

分子式:CF3(CF2)3SO3S(C6H5)3

分子量:562.47

CAS登记号:144317-44-2

理化性质:白色结晶粉末,熔点:84-88℃,含量〉99%(电子工业级)。

溶解性:丙二醇单甲基醚酯(PGMEA):约50%,γ-丁基内酯:约65%,乙酸乙酯:约65%。PAG-4L在树脂和溶剂中溶解性能好,酸性强,纯度高,热稳定性高,挥发性低。

用途:表面活性剂(SAA),阳离子光引发剂,光致产酸剂(PAG),与全氟辛基磺酸三苯基锍盐(TPS-PFOS)相比,安全、卫生、低毒、环境友好,可作为目前157-nm、193-nm、248-nm光刻胶中常用光酸剂(PAG)全氟辛基磺酸三苯基锍盐(TPS-PFOS)的替代品。